（1）廢氣預(yù)處理設(shè)備，通過真空泵出口進(jìn)入高效過濾箱。

（2）經(jīng)過濾后的廢氣進(jìn)入活性炭處理設(shè)備中，采用吸附濃縮——解吸脫附——催化燃燒的工藝流程。采取單氣路工作方式，由多個活性炭吸附床，一個催化燃燒器（輔之低壓風(fēng)機(jī)、閥門等構(gòu)成）。經(jīng)攔截捕捉后的廢氣送入活性炭吸附床，廢氣送入活性炭吸附床Ⅰ、Ⅱ、進(jìn)行吸附，當(dāng)活性炭吸附床Ⅰ接近飽和時，首先將處理氣體自動切換到活性炭吸附床Ⅲ（飽和活性炭吸附床Ⅰ自動停止吸附操作），然后用熱氣流對飽和的活性炭吸附床進(jìn)行解吸脫附，將有機(jī)物從活性炭上脫附下來。在脫附過程中，有機(jī)廢氣已被濃縮，濃度較原來提高幾十倍，達(dá)2000ppm以上，濃縮廢氣送到催化燃燒裝置，最后被分解為CO2與H2O排出。

（3）完成解吸脫附以后活性炭吸附床Ⅰ進(jìn)入待用狀態(tài)，待活性炭吸附床Ⅱ接近飽和時，系統(tǒng)再自動切換回來，同時對飽和活性炭吸附床Ⅱ進(jìn)行解吸脫附，如此循環(huán)工作。

當(dāng)有機(jī)廢氣的濃度達(dá)到2000ppm以上時，催化床內(nèi)可維持自燃，不用外加熱。這個方案不僅大大節(jié)省了能量的消耗，而且由于催化燃燒器的處理能力僅需原廢氣處理量的1/10，所以同時也降低了設(shè)備投資。本方案既適合于連續(xù)工作，也適合于間斷工作。

（4）單臺活性炭吸附床的解吸脫附大約需要4-8小時，吸附風(fēng)機(jī)用變頻器控制，可以依照需要的風(fēng)量或者裝置入口的凈負(fù)壓來進(jìn)行調(diào)節(jié)。整個系統(tǒng)采用PLC自動控制程序控制。